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集群式 蒸镀 系统
集群式溅射系统是一种可在单一真空环境下配置多重工艺的高灵活性研发(R&D)及中试(Pilot)系统。
- OLED芯片及材料开发用装备。
- 在超高真空层面下，通过沉积封装制作高效率并高寿命芯片。
- 为了确保高效率与高寿命，适用于冲洗及Out-gassing方案。
Application
- OLED Display用 Panel 生产用
- OLED Display 研究 / 开发用
- OLED 物质开发用
Specification
| 构成 | Plasma Treatment, Organic/Meal deposition, Encapsulation unit |
|---|---|
| 特点 | Source auto-feeding unit, Auto aligner unit |
| Source | Point effusion Cell, Linear source, Magnetron cathode(Option), E-Beam source(Option) |
| Target | Organic and Metal, TCO |