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连续式 蒸镀 系统
在线式溅射系统采用全自动化连续工艺，在大规模量产中实现了高稼动率与均匀的薄膜品质。
- 随着基盘的移动完成沉积封装工艺的一种具有优秀生产性能的直列型系。
- 适合于OLED照明芯片。
Specification
| Deposition Type | In-Line Horizontal Type |
|---|---|
| Substrate Size | Mass : ~ Gen.5.5 R&D ~ P/P : ~ Gen.2 |
| Tact Time | Mass : 2mins R&D ~ P/P : 30mins |
| Evaporation Source | Mass : Linear Source
R&D ~ P/P : Parallel Shot by Point Source |
| Thickness Uniformity | Organic : ≤± 3%(Organic), ≤± 4%(Metal) |
| Align Accuracy | Mechanical Align : ≤± 150㎛ |