R&D 研发用 系统

研发 / 研究用系统是针对 OLED 小尺寸器件工艺及蒸镀、封装实验而优化的专用设备。

Application

Specification

构成 Organic/Meal deposition, Encapsulation unit
特点 Substrate handling -> Automation, Substrate to mask align, Sub-shutter
Source Point effusion Cell
Material Organic and metal