间歇式(单批次) 溅射设备

分批式溅射系统是针对小批量工艺而优化的系统，可灵活应对并应用多种薄膜条件。

Application

构成	Pre-treatment, Deposition
特点	Drum type, Dual-side deposition
Cathode	Planar Magnetron cathode
Target	Metal, Oxide, TCO