连续式 溅射 设备
在线式溅射系统采用全自动化连续工艺，在大规模量产中实现了高稼动率与均匀的薄膜品质。
- 完全自动化系统构筑, 为稳定的品质提供高可动性与最大生产力多样的技术以及扩张性。
- 提供高可动性与最大生产力。
Application
- 适用于多样的薄膜 (Metal, Oxide, TCO 等) 流程
- 适用于多样的制品 (Plastic, Glass 等)
- 适用于多样的形象 (Deco, Tool, Special Model 等)
Specification
| 构成 | Loading, Pre-treatment, Deposition, Buffer, Unloading |
|---|---|
| Tact time | 3分钟以内 |
| Cathode | Planar or Cylindrical Magnetron cathode |
| Target | Metal, Oxide, TCO |