真空 配件 及 溅射用 合金 靶材
真空部件及溅射合金靶材基于自主生产体系，为稳定的薄膜品质与工艺可靠性提供有力支持。
- 我们提供自制的有效率性与可靠性的溅射用 Cathode, Alloy Target, 有/无机沉积材料以及相关配件。
Sputtering Cathode
- Type : Planar, Round, Hexagon, Cylindrical type magnetron gun
- Size : up to 2,000mm
- Target Material : Metal, Oxide, TCO.
Sputtering Target
- Target Material : Metal (Silver, Gold, Titan Color用)
Evaporation Source
- Type : Point cell, Linear cell
- Volume : Host and Dopant (from 3cc ~ )
- Material : Organic and Inorganic material