OLED 증착 시스템
균일한 유기물 증착과 미세 패턴 공정에 최적화된 설계로, 연구개발부터 대규모 양산 라인까지 완벽한 공정 안정성을 보장합니다.
클러스터 시스템
반도체 및 OLEDOS 공정의 핵심, 클러스터 증착 시스템입니다. 중앙 로봇 기반의 유기적 챔버 배치를 통해 진공 파기 없이 다층막을 연속 증착하며, 박막 오염을 최소화하여 초정밀 디스플레이 제조 효율을 극대화합니다.
인라인 시스템
대면적 기판의 대량 양산에 최적화된 인라인 증착 솔루션입니다. 고속 선형 이송 방식을 통해 생산 공정의 병목 현상을 제거하고, 탁월한 처리량과 균일한 증착 품질로 생산 경쟁력을 확보해 드립니다.
R&D / 연구용 시스템
신소재 개발 및 공정 테스트를 위한 컴팩트형 R&D 증착 시스템입니다. 사용자 중심의 유연한 설계로 다양한 실험 조건을 신속하게 구현할 수 있으며, 연구기관 및 기업 부설 연구소의 초기 기술 확보를 위한 경제적이고 강력한 도구가 됩니다.