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인라인 시스템
인라인 스퍼터는 완전 자동화 연속 공정으로 대량 생산에서 높은 가동률과 균일한 박막 품질을 구현합니다.
- 기판이 이동하면서 증착 공정이 이루어지는 Inline Type으로 생산성이 매우 우수한 시스템
- OLED 조명 Panel 생산에 최적화
사양
| 증착 방식 | 인라인 수평형 |
|---|---|
| 기판 크기 | 양산: ~ Gen.5.5 연구・파일럿: ~Gen.2 |
| 증착 소스 | 양산: 리니어 소스 연구・파일럿: 포인트 소스 기반 병렬 증착 |
| 택 타임 | 양산: 2분 연구・파일럿: 30분 |
| 막 두께 정밀도 | 유기물 ≤ ±3%, 금속 ≤ ±4% |
| 정렬 정밀도 | 기계식 정렬: ≤ ±150㎛ |