스퍼터링 시스템
독보적인 박막 제어 기술로 완성한 스퍼터링 솔루션입니다. 정밀한 공정 구현과 안정적인 운영을 보장하는 다양한 타입의 진공 증착 장비를 소개합니다.
인라인 스퍼터
대면적 기판의 고속 연속 생산을 위한 인라인 스퍼터링 시스템입니다. 끊김 없는 선형(Linear) 공정 흐름으로 대량 양산 라인에서 최고의 생산 효율과 균일한 박막 품질을 실현합니다.
클러스터 스퍼터
반도체 및 OLED 공정 등 초정밀 다층막 형성을 위한 클러스터 타입 스퍼터링 시스템입니다. 중앙 로봇을 중심으로 독립된 챔버를 배치하여 기판 오염을 방지하고 복합 공정의 유연성을 극대화합니다.
배치 스퍼터
다품종 소량 생산 및 R&D 최적화 솔루션, 배치형 스퍼터링 시스템입니다. 한 번의 공정 사이클 내에 여러 기판을 동시에 처리하며, 공간 효율성과 경제적인 운영 비용을 자랑합니다.