OLED沉积封装设备
针对均匀的有机物蒸镀与微细图案工艺进行了优化设计，确保从研发(R&D)到大规模量产线的完美工艺稳定性。
集群式 蒸镀 系统
半导体及 OLEDOS 工艺的核心——集群式蒸镀系统。通过基于中央机器人的有机腔体配置，实现在不破坏真空的情况下连续蒸镀多层膜，通过减少薄膜污染使超精细显示器的制造效率最大化。
连续式 蒸镀 系统
针对大面积基板的大规模量产而优化的在线式蒸镀解决方案。通过高速线性输送方式消除生产工艺中的瓶颈，凭借卓越的产出量与均匀的蒸镀品质为您确保生产竞争力。
R&D 研发用 系统
用于新材料开发及工艺测试的紧凑型研发(R&D)蒸镀系统。采用以用户为中心的灵活设计，可快速实现各种实验条件，是研发机构及企业附属研究所获取初期技术储备的经济且强大的工具。