Cluster System
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제품소개 OLED Evaporation System Cluster System
▷ OLED Panel 및 재료개발용 시스템
▷ 초고진공영역에서 증착/봉지 공정을 통한 고효율/고수명 Panel 제작 시스템
▷ 고효율/고수명 확보를 위해 세정 및 Out-gassing 제거 방안 적용
Application
- OLED Display Panel 생산용
- OLED Display 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
- OLED Display 연구/개발용
- OLED 재료 개발용
Specification
| 구성 | Plasma Treatment, Organic/Meal deposition, Encapsulation unit |
| 특징 | Source auto-feeding unit, Auto aligner unit |
| Source | Point source, Linear source |