Batch Sputter

  • Inline batch
  • Inline batch

▷ 다양한 박막증착이 가능하여 연구개발용으로 적합한 시스템

Application
- 고집적 전자부품 및 광소자용 부품
- 고경도막 코팅
Specification
구성 Pre-treatment, Deposition
특징 Drum type, Dual-side deposition
Cathode Planar Magnetron cathode
Target Metal, Oxide, TCO